SF6, oswa hexafluoride souf, se yon gaz ki souvan itilize nan grave sèk, sitou itilize pou grave Silisyòm nan pwosesis pwodiksyon semi-conducteurs. Gaz SF6 a gen yon estrikti oktaedrik, ki fòme ak yon atòm souf santral ki antoure pa sis atòm fliyò. Pwopriyete ki pa polè li yo fè li yon gaz posibilite nan ekipman elektrik wo-vòltaj. Pwopriyete fizik SF6 yo enkli san koulè, san odè, ki pa ka pran dife, ki pa toksik, posibilite, pi lou pase lè a, kapasite refwadisman, gwo fòs dyelèktrik, estabilite tèmik, ak solubilite pòv nan dlo men idrosolubl nan solvang òganik ki pa polè.
An tèm de pwopriyete chimik, SF6 diman reyaji ak lòt sibstans ki sou nan tanperati chanm, men yo pral dekonpoze anba limyè iltravyolèt fò.
SF6 se jeneralman pwodwi pa endistri yo ak kontni li yo nan lanati se piti anpil. Ekwasyon reyaksyon pou pwodiksyon SF6 se:
2 cof₃ + sf₄ + [br₂] → sf₆ + 2 cof₂ + [br₂]
Lè SF₄, CoF₃ ak Br₂ yo melanje ansanm epi yo chofe a 100 degre, yon reyaksyon rive ant yo. Nan reyaksyon sa a, yon pati nan SF₄ ak CoF₃ reyaji pou pwodui SF₆ ak CoF₂. Bwòm pa boule nan reyaksyon an, li sèlman aji kòm yon katalis.
Èske SF6 danjere?
Malgre ke SF6 se ki pa toksik nan eta pi li yo, li pral deplase oksijèn nan lè a, ak yon konsantrasyon volim pi gran pase 19% nan lè a pral lakòz asfiksi. Se poutèt sa, li trè enpòtan yo detekte fwit SF6 nan yon fason apwopriye ak pran mezi prevantif ki apwopriye nan pwosesis la fabrikasyon semi -conducteurs.
SF6 itilize nan endistri semi-conducteurs
SF6 se lajman ki itilize nan fabrikasyon semi-conducteurs. Nan pwosesis la grave Silisyòm, SF6 yo itilize kòm gaz prensipal la grave, epi li travay ansanm ak pwodwi gaz yo temèt SF4 ak C4F8 pou reyalize gwo twou san fon Silisyòm grave. Anplis de sa, SF6 yo souvan itilize pou grave sèk nan metal Mo ak W, reyaji ak metal sa yo jenere temèt hexafluorides MoF₆ ak WF₆. Malgre ke SF6 se pa gaz la pi pito pou grave aliminyòm, li ka itilize kòm yon gaz oksilyè amelyore to a grave nan aliminyòm lè melanje ak gaz tankou Cl₂.
Silisyòm grave
Nan etap la Silisyòm grave, se sèlman Silisyòm ki nan pati anba a kote fim nan pasivasyon te retire se grave. Se gaz SF6 prezante, ak SF6 se disosye nan plasma a jenere yon varyete de pwodwi dekonpozisyon, ki gen ladan atòm trè aktif fliyò (F).
SF6-->SF4+F2-->SF2+2F2-->F+...
Atòm yo fliyò pwodwi reyaji ak sifas la Silisyòm jenere Silisyòm tetrafluoride (SIF4), yon konpoze temèt ki fasil egzeyate nan chanm lan.
Si+4F-->SiF4
Anba pasivasyon kouch grave
Nan etap sa a, yon kouch pasivasyon fòme sou tou de flan an ak anba a. Sepandan, nou sèlman vle kenbe kouch pasivasyon an sou flan an pou pwoteje flan an pou yo pa grave, men nou bezwen retire kouch pasivasyon an sou anba a yo nan lòd yo grave anba. Se poutèt sa, gaz SF6 yo pral prezante nan moman sa a atake kouch pasivasyon an sou anba a. Apre kouch pasivasyon sou anba a disparèt, SF6 kontinye ap grave Silisyòm lan, ak sik la repete tèt li, tankou yon bouk ki pa janm fini.
One-Stop SF6 souf hexafluoride faktori nan Lachin
Voye rechèch ou an sou gaz souf hexafluoride SF6 ba nou!
Nou pral bay bon jan kalite SF6 gaz ak sèvis yo satisfè bezwen acha ou.
Voye ankèt kounye a
